Search
Abstract
Diamenty stosowane w optoelektronice i sensoryce syntetyzowane są w próżni przy użyciu plazmy niskotemperaturowej. Nanostruktury powstają przez wzrost struktur z molekuł, a nawet atomów. Wytwarzanie nanostruktur wymaga precyzyjnego monitoringu procesu syntezy. Optoelektroniczne metody pomiarowe zapewniają kontrolę wzrostu warstw oraz ocenę in situ parametrów materiałowych. W artykule przedstawiono optoelektroniczne metody badania przebiegu procesu syntezy warstw diamentowych i DLC: spektroskopię ramanowską oraz optyczną spektroskopię emisyjną.
Authors (4)
Cite as
Full text
full text is not available in portal
Keywords
Details
- Category:
- Articles
- Type:
- artykuły w czasopismach recenzowanych i innych wydawnictwach ciągłych
- Published in:
-
Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
no. 48,
pages 42 - 46,
ISSN: 0033-2089 - Language:
- Polish
- Publication year:
- 2007
- Bibliographic description:
- Wroczyński P., Gnyba M., Herman A., Bogdanowicz R.: Synteza warstw diamentowych do zastosowań optoelektronicznych// Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania. -Vol. 48., nr. nr 9 (2007), s.42-46
- Verified by:
- Gdańsk University of Technology
seen 84 times
Recommended for you
System optoelektroniczny do kontroli procesów μPA CVD
- R. Bogdanowicz,
- M. Gnyba,
- P. Wroczyński
- + 1 authors
2008