Search
Zastosowanie interferometrii niskokoherentnej do jednoczesnego pomiaru grubości i współczynnika załamania struktur warstwowych
Abstract
W pracy przedstawiono techniki oparte na interferometrii niskokoherentnej jednoczesnego pomiaru współczynnika załamania i grubości struktur warstwowych. Zaproponowano dwie metody: pierwsza oparta jest na pomiarze położenia górnej powierzchni granicznej warstwy i jej grubości optycznej (położenie dolnej powierzchni granicznej powinno być znane wcześniej); druga oparta jest na wykorzystaniu dynamicznego ogniskowania wiązki laserowej. Przeprowadzone testy pokazały, że możliwy jest jednoczesny pomiar grubości geometrycznej warstwy z dokładnością 1 μm i współczynnika załamania z dokładnością lepszą niż 0,01.
Authors (3)
Cite as
Full text
full text is not available in portal
Keywords
Details
- Category:
- Articles
- Type:
- artykuły w czasopismach recenzowanych i innych wydawnictwach ciągłych
- Published in:
-
Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
no. R. 51,
pages 136 - 139,
ISSN: 0033-2089 - Language:
- Polish
- Publication year:
- 2010
- Bibliographic description:
- Pluciński J., Strąkowski M., Kosmowski B.: Zastosowanie interferometrii niskokoherentnej do jednoczesnego pomiaru grubości i współczynnika załamania struktur warstwowych// Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania. -Vol. R. 51., nr. Nr 6 (2010), s.136-139
- Verified by:
- Gdańsk University of Technology
seen 84 times