Praca zawiera opis wybranych metod pomiarów elektrycznych cienkich warstw tlenkowych wytwarzanych metodą rozpylania magnetronowego. Omówiono metody pomiaru i stanowiska pomiarowe używane do mierzenia parametrów elektrycznych warstw tlenkowych. Zaprezentowano przykładowe wyniki pomiarów cienkich warstw opartych na tlenku tytanu.

TiNx layers have been deposited in 'balanced mode' and 'unbalanced mode' of a reactive DC-magnetron plasma (carrier gas argon, reactive gas nitrogen) under different conditions. Discharge power and reactive gas flow have been varied. The layers have been examined by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), X-ray reflectometry (XR), and spectroscopic ellipsometry (SE). The results of the layer analyses were combined with plasma investigations...

Thin titanium nitride (tinx) films were deposited on silicon substrates by means of a reactive dc-magnetron plasma. Layers were synthesized under various conditions of discharge power and nitrogen flows in two operation modes of the magnetron (the so-called "balanced" and "unbalanced" modes). The optical constants of the tinx films were investigated by spectroscopic ellipsometry (se). X-ray photoelectron spectroscopy (xps) was...

Przedmiotem rozprawy jest analiza procesu wtrysku oleju napędowego do cylindra silnika okrętowego z zapłonem samoczynnym i bezpośrednim wtryskiem paliwa. Analiza tego zagadnienia została przeprowadzona w aspekcie wpływu makro parametrów strugi na początkową fazę rozpylania oleju napędowego. Celem niniejszej pracy jest określenie wpływu współczynnika L/D (długość otworu/średnica) otworu wylotowego wtryskiwacza na zmianę charakterystyki...

w rozdziale zaprezentowano wyniki badań właściwości fotoelektrycznych struktury tlenku tytanu domieszkowanego wanadem naniesionej na podłoże krzemowe. cienką warstwę tlenkową naniesiono w procesie rozpylania magnetronowego rozpylania magnetronowego. na podstawie badań stwierdzono występowanie efektu fotoelektrycznego na granicy cienka warstwa - podłoże krzemowe.