Badanie procesów odpowiedzialnych za powstawanie nanostruktur w metodzie FEBID (focused electron beam induced deposition). - Project - MOST Wiedzy

Search

Badanie procesów odpowiedzialnych za powstawanie nanostruktur w metodzie FEBID (focused electron beam induced deposition).

Focused Electron beam induced deposition (skrót: FEBID) jest bezpośrednią metodą wykorzystywaną w nauce i przemyśle do tworzenia nanostruktur przy użyciu skupionych wysokoenergetycznych wiązek elektronów. Metoda ta pozwala na osadzanie cienkich warstw metalicznych lub o własnościach izolujących, o dowolnie zdefiniowanych kształtach. Posiada ona jednak ograniczenia głównie w rozdzielczości przestrzennej oraz efektywności nanoszenia warstw. Podczas tworzenia warstw przy użyciu metaloorganicznych prekursorów, powstałe osady mają zawartość metalu zaledwie od 10 do 75% w stosunku do ich pierwotnej zawartości w prekursorach [1]. Głównym powodem niskiej efektywności jest niekompletny rozkład chemiczny prekursora. Może to również znacząco obniżyć czystość warstwy osadzonej. Niekompletne oddzielenie ligandu od prekursora może wynikać z interakcji między niskoenergetycznymi elektronami wtórnymi, które odgrywają kluczową rolę w FEBID. Bezpośrednie badanie roli oraz efektów wywoływanych przez elektrony wtórne podczas procesu osadzania w FEBID nie jest możliwe, należy więc zastosować metody pośrednie. Jedną z nich są eksperymenty rozproszeniowe, a mianowicie badanie pojedynczych zderzeń niskoenergetycznych elektronów z izolowanymi cząsteczkami gazu. W FEBID elektrony wtórne generowane są w zderzeniach wiązki pierwotnej z substratem. Podczas ich interakcji z cząsteczkami prekursora zachodzą procesy takie jak dysocjacyjny wychwyt elektronu, jonizacja dysocjatywna, dysocjacja neutralna i dipolarna. Wielkością charakteryzującą prawdopodobieństwo zajścia wszystkich zjawisk zachodzących podczas zderzeń jest całkowity przekrój czynny. W ramach projektu zostaną przeprowadzone badania eksperymentalne oraz teoretyczne wymienionych wielkości oraz innych fizycznych i chemicznych właściwości prekursorów oraz grup funkcyjnych ważnych dla metody FEBID. W szczególności planowane jest zmierzenie całkowitych przekrojów czynnych na rozproszenie niskoenergetycznych elektronów dla wybranych prekórsorów w szerokim zakresie energii. Ponad to planowane jest eksperymentalne badanie stanów rezonansowych prowadzących do dysocjacyjnego wychwytu elektronów. Otrzymane dane eksperymentalne oraz obliczeniowe pozwolą na zoptymalizowanie projektowania nowych prekursorów dla metody FEBID.

Details

Project's funding:
DIAMENTOWY GRANT
Agreement:
0189/DIA/2016/45 0189/DIA/2016/45 z dnia 2016-11-21
Realisation period:
2016-11-21 - 2019-11-20
Project manager:
Sylwia Stefanowska-Tur
Realised in:
Faculty of Applied Physics and Mathematics
Request type:
Krajowy Program Badawczy
Domestic:
Domestic project
Verification:
Gdańsk University of Technology

Filters

total: 1

  • Category

  • Year

Catalog Projects

2019

seen 86 times