Abstract

W pracy przedstawiono możliwość zastosowania dynamicznej spektroskopii impedancyjnej do pomiaru lokalnej impedancji z wykorzystaniem mikroskopu AFM. Kontakt sondy mikroskopu z próbką jest układem dynamicznym, który ulega ciągłym zmianom. Skanowanie powierzchni, zmiana docisku sondy, czy nawet dryft skanera piezoelektrycznego powodują zmianę geometrii kontaktu sonda-próbka. W związku z tym klasyczna odmiana pomiaru impedancji z sekwencyjną generacją częstotliwości może być zastosowana w ograniczonym zakresie. Dynamiczna spektroskopia impedancyjna umożliwia pokonanie ograniczeń związanych z brakiem stacjonarności układu i pomiar impedancji w trakcie ruchu sondy. Dzięki temu możliwe jest mapowanie impedancyjne, prowadzone w trakcie obrazowanie topografii. Prowadzenie obu pomiarów równocześnie zapewnia dokładną korelację zarejestrowanych obrazów.

Author (1)