LTCC compatible PLZT thick-films for piezoelectric devices.

Jari Juuti; Andrzej Łoziński; Seppo Leppavuori

LTCC compatible PLZT thick-films for piezoelectric devices.

Abstract

Opisano proces produkcji grubych warstw PLZT oraz pomiary ich dielektrycznych i piezoelektrycznych parametrów. Temperatura obróbki termicznej (850 stopni C) czyni te warstwy kompatybilnymi z technologią LTCC.

Authors (3)

Jari Juuti
- Faculty of Electronics, Telecommunications and Informatics
- Gdańsk University of Technology
Andrzej Łoziński dr hab. inż.
- Faculty of Electronics, Telecommunications and Informatics
- Gdańsk University of Technology
Seppo Leppavuori
- Faculty of Electronics, Telecommunications and Informatics
- Gdańsk University of Technology

Cite as

Full text

full text is not available in portal

Keywords

Details

Category:: Articles
Type:: artykuł w czasopiśmie z listy filadelfijskiej
Language:: English
Publication year:: 2004
Bibliographic description:: Juuti J., Łoziński A., Leppavuori S.: LTCC compatible PLZT thick-films for piezoelectric devices.// . -., (2004),
Verified by:: Gdańsk University of Technology