Search
Abstract
W pracy opisano konstrukcję modułowego spektroskopu ramanowskiego umożliwiającego monitorowanie wzrostu warstw w procesach CVD. Przedstawiono rezultaty testów skostruowanego układu oraz wstępne wyniki pomiarów warstw diamentowych.
Authors (3)
Cite as
Full text
download paper
downloaded 25 times
- Publication version
- Accepted or Published Version
- License
-
open in new tab
Keywords
Details
- Category:
- Articles
- Type:
- artykuły w czasopismach recenzowanych i innych wydawnictwach ciągłych
- Published in:
-
Journal of Machine Construction and Maintenance
pages 115 - 129,
ISSN: 1232-9312 - Language:
- English
- Publication year:
- 2006
- Bibliographic description:
- Gnyba M., Bogdanowicz R., Wroczyński P.: Raman modular system with fibre-optic probes for remote monitoring of CVD process// Problemy Eksploatacji. Maintenance Problems. -., nr. nr 4 = 63 (2006), s.115-129
- Verified by:
- Gdańsk University of Technology
seen 106 times
Recommended for you
System optoelektroniczny do kontroli procesów μPA CVD
- R. Bogdanowicz,
- M. Gnyba,
- P. Wroczyński
- + 1 authors
2008
Monitoring ramanowski wzrostu cienkich warstw węglowych-studium
- M. Gnyba,
- M. Kozanecki,
- P. Wroczyński
- + 1 authors
2010
Monitoring ramanowski wzrostu cienkich warstw węglowych-studium
- M. Gnyba,
- M. Kozanecki,
- P. Wroczyński
- + 1 authors
2010