Search
Abstract
W pracy przedstawiono opis technologii przygotowania czujników wilgotności na bazie nanoporowatego Al2O3. Celem badań było określenie związku pomiędzy parametrami procesu technologicznego a parametrami warstwy porowatej i właściwościami elektrycznymi czujnika. Strukturę powierzchni czujnika określono z wykorzystaniem elektronowej mikroskopii skaningowej. Spektroskopia impedancyjna została wykorzystana do określenia parametrów elektrycznych.
Authors (5)
Cite as
Full text
full text is not available in portal
Keywords
Details
- Category:
- Conference activity
- Type:
- publikacja w wydawnictwie zbiorowym recenzowanym (także w materiałach konferencyjnych)
- Title of issue:
- COE 2006 : IX Konferencja Naukowa ''Czujniki Optoelektroniczne i Elektroniczne'', Kraków - Zakopane, 19-22 czerwca 2006 : materiały konferencyjne strony 215 - 218
- Publication year:
- 2006
- Bibliographic description:
- Jasiński P., Jasiński G., Madany A., Chachulski B., Nowakowski A.: Technologia wytworzenia i właściwości czujników wilgotności na bazie nanoporowatego tlenku glinu// COE 2006 : IX Konferencja Naukowa ''Czujniki Optoelektroniczne i Elektroniczne'', Kraków - Zakopane, 19-22 czerwca 2006 : materiały konferencyjne/ ed. red. E. Schabowska-Osiowska, T. Kenig i W. Maziarz. Kraków: AGH, Wydz. EAIiE, 2006, s.215-218
- Verified by:
- Gdańsk University of Technology
seen 137 times