Wyszukiwarka
Implementation of SiN thin film in fiber-optic sensor working in telecommunication range of wavelengths
Abstrakt
Mirrors are used in optical sensors and measurement setups. This creates a demand for mirrors made of new materials and having various properties tailored to specific applications. In this work, we propose silicon covered with a thin silicon nitride layer as a mirror for near-infrared measurements. SiN layer was deposited on a standard silicon wafer with a Low-Pressure Chemical Vapor Deposition furnace. Then, the created layer was investigated using ellipsometry and scanning electron microscope. Subsequently, the mirror was used as a reflecting surface in a Fabry–Perot fiber-optic interferometer. The mirror performance was investigated for wavelengths used in telecomunication (1310 nm and 1550 nm) and then compared with results obtained with the same measurement setup, with a silver mirror instead of silicon covered with SiN, as reference. Results showed that the proposed mirror can replace the silver one with satisfying results for investigated wavelengths.
Cytowania
-
1
CrossRef
-
0
Web of Science
-
1
Scopus
Autorzy (7)
-
Bartłomiej Stonio
-
Marcin Juchniewicz
-
Michał Kruczkowski
Cytuj jako
Pełna treść
- Wersja publikacji
- Accepted albo Published Version
- DOI:
- Cyfrowy identyfikator dokumentu elektronicznego (otwiera się w nowej karcie) 10.1038/s41598-021-00195-9
- Licencja
-
otwiera się w nowej karcie
Słowa kluczowe
Informacje szczegółowe
- Kategoria:
- Publikacja w czasopiśmie
- Typ:
- artykuły w czasopismach
- Opublikowano w:
-
Scientific Reports
nr 11,
ISSN: 2045-2322 - Język:
- angielski
- Rok wydania:
- 2021
- Opis bibliograficzny:
- Pawłowska S., Gierowski J., Stonio B., Juchniewicz M., Ficek M., Kruczkowski M., Szczerska M.: Implementation of SiN thin film in fiber-optic sensor working in telecommunication range of wavelengths// Scientific Reports -Vol. 11,iss. 1 (2021), s.22402-
- DOI:
- Cyfrowy identyfikator dokumentu elektronicznego (otwiera się w nowej karcie) 10.1038/s41598-021-00195-9
- Źródła finansowania:
-
- IDUB
- Działalność statutowa/subwencja
- Projekt Nanosensoryka i obrazowanie z wykorzystaniem efektów kwantowych – synergia szkła i diamentu dla zastosowań w biodiagnostyce nowej generacji
- Weryfikacja:
- Politechnika Gdańska
wyświetlono 109 razy
Publikacje, które mogą cię zainteresować
Optical-Fiber Microsphere-Based Temperature Sensors with ZnO ALD Coating—Comparative Study
- P. Listewnik,
- M. Bechelany,
- P. Wierzba
- + 1 autorów