Wyszukiwarka
Abstrakt
This study has focused on the microcrystalline diamond film (MCD) thickness evaluation. For this purpose, optical coherence tomography (OCT) enhanced by spectroscopic analysis has been used as a method of choice. The average thickness of the tested layer was about 1.5 µm, which is below the standard 2-point OCT resolution. In this case, the usefulness of the spectroscopic analysis was confirmed for the evaluation of the thickness changes in the submicrometer range.
Cytowania
-
1
CrossRef
-
0
Web of Science
-
1
Scopus
Cytuj jako
Pełna treść
pobierz publikację
pobrano 25 razy
- Wersja publikacji
- Accepted albo Published Version
- DOI:
- Cyfrowy identyfikator dokumentu elektronicznego (otwiera się w nowej karcie) 10.4302/plp.v14i3.1156
- Licencja
-
otwiera się w nowej karcie
Słowa kluczowe
Informacje szczegółowe
- Kategoria:
- Publikacja w czasopiśmie
- Typ:
- artykuły w czasopismach
- Opublikowano w:
-
Photonics Letters of Poland
nr 14,
strony 50 - 52,
ISSN: 2080-2242 - Język:
- angielski
- Rok wydania:
- 2022
- Opis bibliograficzny:
- Strąkowska P., Strąkowski M.: Microcrystalline diamond film evaluation by spectroscopic optical coherence tomography// Photonics Letters of Poland -Vol. 14,iss. 3 (2022), s.50-52
- DOI:
- Cyfrowy identyfikator dokumentu elektronicznego (otwiera się w nowej karcie) 10.4302/plp.v14i3.1156
- Źródła finansowania:
-
- Działalność statutowa/subwencja
- Weryfikacja:
- Politechnika Gdańska
wyświetlono 80 razy