Results of calibration of the piezoelectric scanner using the probe TGQ1

Opis

Teaching file. Results of calibration of the piezoelectric scanner using the probe TGQ1. Scanning in contact mode. NTEGRA Prima (NT-MDT) device. CSG probe 10.

Most microscopes with a scanning probe base their operation on the use of piezoelectric scanners, which allow the probe to be moved in relation to the tested surface. The correct operation of the above-mentioned elements is of key importance for the reliability of the obtained topographic images. In order to verify the quality of their operation, calibration samples with a specific geometry are used. By comparing the obtained images with the known surface profile, it is possible to determine and correct deviations in the operation of piezoelectric elements. In the described case, a tester in the form of a silicon wafer was used with marked square peaks 20 nm high and 1.5 µm long, spaced periodically at a distance of 3 µm. The file contains 3 images.

Plik z danymi badawczymi

Set2.mdt

150.0 kB, S3 ETag 21971f0a76f7f1d78058d1bd58e2178d-1, pobrań: 45

Hash pliku liczony jest ze wzoru
hexmd5(md5(part1)+md5(part2)+...)-{parts_count} gdzie pojedyncza część pliku jest wielkości 512 MB

Przykładowy skrypt do wyliczenia:
https://github.com/antespi/s3md5

pobierz

Informacje szczegółowe o pliku

Licencja:: otwiera się w nowej karcie

CC BY-NC

Użycie niekomercyjne
Oprogramowanie:: Gwyddion

Informacje szczegółowe

Rok publikacji:

2021

Data zatwierdzenia:

2021-04-29

Język danych badawczych:

angielski

Dyscypliny:

nauki chemiczne (Dziedzina nauk ścisłych i przyrodniczych)

DOI:

10.34808/129s-9c66

Seria:

Scanning Probe Microscopies data

Weryfikacja:

Politechnika Gdańska

Słowa kluczowe

Cytuj jako

Autorzy

wyświetlono 93 razy

Wyszukiwarka