A prototype femtosecond laser system for MEMS fabrication

Katarzyna Garasz; Marek Kocik; Robert Barbucha; Mateusz Tański; Jerzy Mizeraczyk; Michał Nejbauer; Czesław Radzewicz

doi:10.1117/12.2030552

A prototype femtosecond laser system for MEMS fabrication

Abstrakt

n this article, the concept of a prototype femtosecond laser micromachining system and a femtosecond solid-state Yb:KYW laser is presented. Ultrashort laser pulses have many advantages over the long pulses in laser micromachining, due to their unique ability to interact with different materials without transferring heat to them. This allows very precise and pure laser-processing, clean cuts and sharp edges. A femtosecond laser micromachining device presented in this article is equipped with high-precision galvo scanner, quality optical elements and automatic process supporting tools, resulting in the maximum use of the femtosecond laser potential for precise micromachining and MEMS fabrication.

Cytowania

0

CrossRef
0

Web of Science
0

Scopus

Autorzy (7)

Katarzyna Garasz
- Instytut Maszyn Przepływowych PAN Ośrodek Techniki Plazmowej i Laserowej
Marek Kocik
- Instytut Maszyn Przepływowych PAN Ośrodek Techniki Plazmowej i Laserowej
Robert Barbucha
- Instytut Maszyn Przepływowych PAN Ośrodek Techniki Plazmowej i Laserowej
Mateusz Tański
- Instytut Maszyn Przepływowych PAN Ośrodek Techniki Plazmowej i Laserowej
Jerzy Mizeraczyk
- Instytut Maszyn Przepływowych PAN; Akademia Morska w Gdyni Ośrodek Techniki Plazmowej i Laserowej; Wydział Elektryczny
Michał Nejbauer
- Instytut Chemii Fizycznej PAN Centrum Laserowe
Czesław Radzewicz
- Instytut Chemii Fizycznej PAN Centrum Laserowe

Cytuj jako

Pełna treść

pełna treść publikacji nie jest dostępna w portalu

Słowa kluczowe

Informacje szczegółowe

Kategoria:: Aktywność konferencyjna
Typ:: publikacja w wydawnictwie zbiorowym recenzowanym (także w materiałach konferencyjnych)
Tytuł wydania:: Electron Technology Conference 2013 strony 1 - 6
Język:: angielski
Rok wydania:: 2013
Opis bibliograficzny:: Garasz K., Kocik M., Barbucha R., Tański M., Mizeraczyk J., Nejbauer M., Radzewicz C.: A prototype femtosecond laser system for MEMS fabrication// Electron Technology Conference 2013/ : , 2013, s.1-6
DOI:: Cyfrowy identyfikator dokumentu elektronicznego (otwiera się w nowej karcie) 10.1117/12.2030552
Weryfikacja:: Politechnika Gdańska