A spectroscopic study into the decomposition process of titanium isopropoxide in the nitrogen–hydrogen 100kHz low-pressure plasma
Abstrakt
Cytowania
-
6
CrossRef
-
0
Web of Science
-
1 0
Scopus
Autorzy (3)
Cytuj jako
Pełna treść
pełna treść publikacji nie jest dostępna w portalu
Informacje szczegółowe
- Kategoria:
- Publikacja w czasopiśmie
- Typ:
- Publikacja w czasopiśmie
- Opublikowano w:
-
VACUUM
nr 82,
wydanie 6,
strony 651 - 656,
ISSN: 0042-207X - ISSN:
- 0042-207X
- Rok wydania:
- 2008
- DOI:
- Cyfrowy identyfikator dokumentu elektronicznego (otwiera się w nowej karcie) 10.1016/j.vacuum.2007.10.003
- Weryfikacja:
- Brak weryfikacji
wyświetlono 66 razy