An Analysis of Low Frequency Discharge in a CH3SiCl3-Ar-H2 Mixture by Optical Emission Spectroscopy and Actinometry - Publikacja - MOST Wiedzy

Wyszukiwarka

An Analysis of Low Frequency Discharge in a CH3SiCl3-Ar-H2 Mixture by Optical Emission Spectroscopy and Actinometry

Abstrakt

Cytowania

  • 1

    CrossRef

  • 0

    Web of Science

  • 1

    Scopus

Autorzy (3)

Pełna treść

pełna treść publikacji nie jest dostępna w portalu

Informacje szczegółowe

Kategoria:
Publikacja w czasopiśmie
Typ:
Publikacja w czasopiśmie
Opublikowano w:
PLASMA CHEMISTRY AND PLASMA PROCESSING nr 30, wydanie 5, strony 641 - 661,
ISSN: 0272-4324
ISSN:
0272-4324
Rok wydania:
2010
DOI:
Cyfrowy identyfikator dokumentu elektronicznego (otwiera się w nowej karcie) 10.1007/s11090-010-9238-3
Weryfikacja:
Brak weryfikacji

wyświetlono 0 razy

Meta Tagi