Chromatic monitoring technique for thickness measurementof thin transparent films.IV Workshopon Atomic and Molecular Physics. - Publikacja - MOST Wiedzy

Wyszukiwarka

Chromatic monitoring technique for thickness measurementof thin transparent films.IV Workshopon Atomic and Molecular Physics.

Abstrakt

W pracy opisano nową technikę monitorowania grubości cienkich warstw podczas procesu ich syntezy. Jest to optyczna metoda oparta na zdegenerowanej analizie widmowej tzw. modulacji chromatycznej. Umożliwia ona precyzyjny ciągły pomiar zmian grubości wzrastających warstw stosowanych w optyce.

Cytuj jako

Pełna treść

pełna treść publikacji nie jest dostępna w portalu

Informacje szczegółowe

Kategoria:
Publikacja w czasopiśmie
Typ:
artykuły w czasopismach recenzowanych i innych wydawnictwach ciągłych
Opublikowano w:
Proceedings of SPIE nr 5258, strony 206 - 209,
ISSN: 0277-786X
Język:
angielski
Rok wydania:
2003
Opis bibliograficzny:
Bogdanowicz R.: Chromatic monitoring technique for thickness measurementof thin transparent films.IV Workshopon Atomic and Molecular Physics. // Proceedings of SPIE. -Vol. 5258., (2003), s.206-209
Weryfikacja:
Politechnika Gdańska

wyświetlono 11 razy

Publikacje, które mogą cię zainteresować

Meta Tagi