Wyszukiwarka
Chromatic monitoring technique for thickness measurementof thin transparent films.IV Workshopon Atomic and Molecular Physics.
Abstrakt
W pracy opisano nową technikę monitorowania grubości cienkich warstw podczas procesu ich syntezy. Jest to optyczna metoda oparta na zdegenerowanej analizie widmowej tzw. modulacji chromatycznej. Umożliwia ona precyzyjny ciągły pomiar zmian grubości wzrastających warstw stosowanych w optyce.
Cytuj jako
Pełna treść
pełna treść publikacji nie jest dostępna w portalu
Słowa kluczowe
Informacje szczegółowe
- Kategoria:
- Publikacja w czasopiśmie
- Typ:
- artykuły w czasopismach recenzowanych i innych wydawnictwach ciągłych
- Opublikowano w:
-
Proceedings of SPIE
nr 5258,
strony 206 - 209,
ISSN: 0277-786X - Język:
- angielski
- Rok wydania:
- 2003
- Opis bibliograficzny:
- Bogdanowicz R.: Chromatic monitoring technique for thickness measurementof thin transparent films.IV Workshopon Atomic and Molecular Physics. // Proceedings of SPIE. -Vol. 5258., (2003), s.206-209
- Weryfikacja:
- Politechnika Gdańska
wyświetlono 56 razy
Publikacje, które mogą cię zainteresować
Monitoring ramanowski wzrostu cienkich warstw węglowych-studium
- M. Gnyba,
- M. Kozanecki,
- P. Wroczyński
- + 1 autorów
2010