Dynamic Study of Dual High-Power Impulse Magnetron Sputtering Discharge by Optical Emission Imaging - Publikacja - MOST Wiedzy

Wyszukiwarka

Dynamic Study of Dual High-Power Impulse Magnetron Sputtering Discharge by Optical Emission Imaging

Abstrakt

Cytowania

  • 0

    CrossRef

  • 2

    Web of Science

  • 0

    Scopus

Autorzy (6)

  • Zdjęcie użytkownika  V. Stranak

    V. Stranak

  • Zdjęcie użytkownika  R. Bogdanowicz

    R. Bogdanowicz

  • Zdjęcie użytkownika  S. Drache

    S. Drache

  • Zdjęcie użytkownika  M. Cada

    M. Cada

  • Zdjęcie użytkownika  Z. Hubicka

    Z. Hubicka

  • Zdjęcie użytkownika  R. Hippler

    R. Hippler

Pełna treść

Informacje szczegółowe

Kategoria:
Publikacja w czasopiśmie
Typ:
Publikacja w czasopiśmie
Opublikowano w:
IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE nr 39, wydanie 11, strony 2454 - 2455,
ISSN: 0093-3813
ISSN:
0093-3813
Rok wydania:
2011
DOI:
Cyfrowy identyfikator dokumentu elektronicznego (otwiera się w nowej karcie) 10.1109/tps.2011.2155674
Weryfikacja:

wyświetlono 3 razy

Meta Tagi