Wyszukiwarka
Abstrakt
Przedstawiono wybrane problemy diagnostyki ramanowskiej in-situ wzrostu cienkich warstw węglowych w prózniowym procesie CVD, w szczególności problemy doboru długości fali lasera oraz konstrucji głowic optycznych. Opisano system pomiarowy zrealizowany w Katedrze Optoelektroniki i Systemów Elektronicznych PG. Przedstawiono wyniki wstępnych pomiarów oraz ich interpretację.
Autorzy (4)
Cytuj jako
Pełna treść
pełna treść publikacji nie jest dostępna w portalu
Słowa kluczowe
Informacje szczegółowe
- Kategoria:
- Aktywność konferencyjna
- Typ:
- publikacja w wydawnictwie zbiorowym recenzowanym (także w materiałach konferencyjnych)
- Tytuł wydania:
- IX Krajowa Konferencja Elektroniki : materiały konferencyjne, Darłówko Wschodnie, 30.05-02.06.2010. - [Dokument elektroniczny] strony 57 - 62
- Język:
- polski
- Rok wydania:
- 2010
- Opis bibliograficzny:
- Gnyba M., Kozanecki M., Wroczyński P., Bogdanowicz R.: Monitoring ramanowski wzrostu cienkich warstw węglowych-studium// IX Krajowa Konferencja Elektroniki : materiały konferencyjne, Darłówko Wschodnie, 30.05-02.06.2010. - [Dokument elektroniczny]/ ed. komit. red. W. Janke, M. Bączek, S. Łuczak. - PTETiS Oddział Gdańsk, Wydz. Elektroniki i Informatyki Politechniki Koszalińskiej. Koszalin: , 2010, s.57-62
- Weryfikacja:
- Politechnika Gdańska
wyświetlono 67 razy
Publikacje, które mogą cię zainteresować
System optoelektroniczny do kontroli procesów μPA CVD
- R. Bogdanowicz,
- M. Gnyba,
- P. Wroczyński
- + 1 autorów
2008
Mobility measurements in oxide semiconductors
- E. Prociów,
- M. S. Łapiński,
- J. Domaradzki
- + 3 autorów
2009
Monitoring ramanowski wzrostu cienkich warstw węglowych-studium
- M. Gnyba,
- M. Kozanecki,
- P. Wroczyński
- + 1 autorów
2010