Optical properties of boron-doped nanocrystalline diamond films studied by spectroscopic ellipsometry
Abstrakt
The optical properties of boron-doped nanocrystalline diamond films, coated using Microwave Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition (μPE CVD) system, were analyzed by spectroscopic ellipsometry. Diamond films were deposited on silicon substrates. The ellipsometry data (refractive index (n(λ)), extinction coefficient (k(λ)) were modeled using dedicated software. Evolution of the optical structure with boron doping was observed with wavelength in the range of 258 to 826 nm. The results demonstrated strong shift of optical properties under the influence of boron concentration in the nanocrystalline diamond films.
Autorzy (3)
Cytuj jako
Pełna treść
pełna treść publikacji nie jest dostępna w portalu
Słowa kluczowe
Informacje szczegółowe
- Kategoria:
- Aktywność konferencyjna
- Typ:
- publikacja w wydawnictwie zbiorowym recenzowanym (także w materiałach konferencyjnych)
- Tytuł wydania:
- ICT YOUNG 2014 strony 89 - 92
- Język:
- angielski
- Rok wydania:
- 2014
- Opis bibliograficzny:
- Milewska D., Bogdanowicz R., Sobaszek M.: Optical properties of boron-doped nanocrystalline diamond films studied by spectroscopic ellipsometry// ICT YOUNG 2014/ : , 2014, s.89-92
- Weryfikacja:
- Politechnika Gdańska
wyświetlono 145 razy
Publikacje, które mogą cię zainteresować
Optical and electrical properties of ultrathin transparent nanocrystalline boron-doped diamond electrodes
- M. Sobaszek,
- Ł. Skowroński,
- R. Bogdanowicz
- + 7 autorów