Optoelektroniczny system przestrzennego monitoringu wzbudzenia plazmy w procesach syntezy optycznych warstw diamentopodobnych - Publikacja - MOST Wiedzy

Wyszukiwarka

Optoelektroniczny system przestrzennego monitoringu wzbudzenia plazmy w procesach syntezy optycznych warstw diamentopodobnych

Abstrakt

Przedmiotem pracy jest optoelektroniczny system do badania wzbudzenia plazmy mikrofalowej w procesie syntezy warstw DLC (ang. Diamond Like-Carbon). W komunikacie zaprezentowano budowę systemu do przestrzennego monitoringu stanu wzbudzenia plazmy podczas procesu CVD. System SR-OES (ang. Spatially Resolved Optical Emission Spectroscopy) umożliwia określanie rozkładu wzbudzenia cząstek w przestrzeni komory i na tej podstawie wybrania optymalnego położenia podłoża oraz prądów cewek ECR.

Informacje szczegółowe

Kategoria:
Publikacja w czasopiśmie
Typ:
artykuły w czasopismach recenzowanych i innych wydawnictwach ciągłych
Opublikowano w:
Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania strony 45 - 47,
ISSN: 0033-2089
Język:
polski
Rok wydania:
2010
Opis bibliograficzny:
Bogdanowicz R.: Optoelektroniczny system przestrzennego monitoringu wzbudzenia plazmy w procesach syntezy optycznych warstw diamentopodobnych// Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania. -., nr. nr 1 (2010), s.45-47
Weryfikacja:
Politechnika Gdańska

wyświetlono 9 razy

Publikacje, które mogą cię zainteresować

Meta Tagi