PHASE OBJECT OBSERVATION SYSTEM BASED ON DIFFRACTION PHASE MICROSCOPY - Publikacja - MOST Wiedzy

Wyszukiwarka

PHASE OBJECT OBSERVATION SYSTEM BASED ON DIFFRACTION PHASE MICROSCOPY

Abstrakt

In the paper authors present a special measurement system for observing phase objects. The diffraction phas microscopy makes it possible to measure the dimensions of a tested object with a nanometre resolution. To meet this requirement, it is proposed to apply a spatial transform. The proposed setup can be based either on a two lenses system (called 4 f ) or a Wollaston prism. Both solutions with all construction aspects are described in the paper. To make a full analysis of the object shape the authors developed an accurate image processing algorithm, also presented in the paper.

Cytuj jako

Pełna treść

pobierz publikację
pobrano 130 razy
Wersja publikacji
Accepted albo Published Version
Licencja
Creative Commons: CC-BY-NC-ND otwiera się w nowej karcie

Słowa kluczowe

Informacje szczegółowe

Kategoria:
Publikacja w czasopiśmie
Typ:
artykuł w czasopiśmie wyróżnionym w JCR
Opublikowano w:
Metrology and Measurement Systems nr 25, strony 213 - 221,
ISSN: 0860-8229
Język:
angielski
Rok wydania:
2018
Opis bibliograficzny:
Babicz-Kiewlicz S., Stawarz-Graczyk B., Wierzba P.: PHASE OBJECT OBSERVATION SYSTEM BASED ON DIFFRACTION PHASE MICROSCOPY// Metrology and Measurement Systems. -Vol. 25, nr. 1 (2018), s.213-221
Weryfikacja:
Politechnika Gdańska

wyświetlono 126 razy

Publikacje, które mogą cię zainteresować

Meta Tagi