Wyszukiwarka
Abstrakt
W pracy opisano konstrukcję modułowego spektroskopu ramanowskiego umożliwiającego monitorowanie wzrostu warstw w procesach CVD. Przedstawiono rezultaty testów skostruowanego układu oraz wstępne wyniki pomiarów warstw diamentowych.
Autorzy (3)
Cytuj jako
Pełna treść
pobierz publikację
pobrano 22 razy
- Wersja publikacji
- Accepted albo Published Version
- Licencja
-
otwiera się w nowej karcie
Słowa kluczowe
Informacje szczegółowe
- Kategoria:
- Publikacja w czasopiśmie
- Typ:
- artykuły w czasopismach recenzowanych i innych wydawnictwach ciągłych
- Opublikowano w:
-
Journal of Machine Construction and Maintenance
strony 115 - 129,
ISSN: 1232-9312 - Język:
- angielski
- Rok wydania:
- 2006
- Opis bibliograficzny:
- Gnyba M., Bogdanowicz R., Wroczyński P.: Raman modular system with fibre-optic probes for remote monitoring of CVD process// Problemy Eksploatacji. Maintenance Problems. -., nr. nr 4 = 63 (2006), s.115-129
- Weryfikacja:
- Politechnika Gdańska
wyświetlono 102 razy
Publikacje, które mogą cię zainteresować
System optoelektroniczny do kontroli procesów μPA CVD
- R. Bogdanowicz,
- M. Gnyba,
- P. Wroczyński
- + 1 autorów
2008
Monitoring ramanowski wzrostu cienkich warstw węglowych-studium
- M. Gnyba,
- M. Kozanecki,
- P. Wroczyński
- + 1 autorów
2010
Monitoring ramanowski wzrostu cienkich warstw węglowych-studium
- M. Gnyba,
- M. Kozanecki,
- P. Wroczyński
- + 1 autorów
2010