Reactive deposition of TiNx layers in a DC-magnetron discharge - Publikacja - MOST Wiedzy

Wyszukiwarka

Reactive deposition of TiNx layers in a DC-magnetron discharge

Abstrakt

TiNx layers have been deposited in 'balanced mode' and 'unbalanced mode' of a reactive DC-magnetron plasma (carrier gas argon, reactive gas nitrogen) under different conditions. Discharge power and reactive gas flow have been varied. The layers have been examined by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), X-ray reflectometry (XR), and spectroscopic ellipsometry (SE). The results of the layer analyses were combined with plasma investigations carried out by means of energy resolved mass spectrometry under the same conditions. By thismethod, it is possible to obtain a comprehensive view on the fundamentals of layer deposition, especially on the influence of the ions on the layer properties. Results show that the operation mode of the magnetron has a significant influence on the titanium deposition rate and the incorporation of nitrogen into the layers. The increased energy influx to the growing film in unbalancedmode results in a higher titanium deposition rate despite the lower number of sputtered particles. It also leads to an enhanced nitrogen insertion, sincestoichiometric TiN could only be deposited in unbalancedmode.

Cytowania

  • 2

    CrossRef

  • 2

    Web of Science

  • 2

    Scopus

Cytuj jako

Pełna treść

pełna treść publikacji nie jest dostępna w portalu

Słowa kluczowe

Informacje szczegółowe

Kategoria:
Publikacja w czasopiśmie
Typ:
artykuł w czasopiśmie z listy filadelfijskiej
Opublikowano w:
SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS nr 40, strony 790 - 793,
ISSN: 0142-2421
Język:
angielski
Rok wydania:
2008
Opis bibliograficzny:
Wrehde S., Quaas M., Bogdanowicz R., Hartmut S., Wulff H., Hippler R.: Reactive deposition of TiNx layers in a DC-magnetron discharge// SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS. -Vol. 40., nr. nr 3-4 (2008), s.790-793
DOI:
Cyfrowy identyfikator dokumentu elektronicznego (otwiera się w nowej karcie) 10.1002/sia.2781
Weryfikacja:
Politechnika Gdańska

wyświetlono 33 razy

Publikacje, które mogą cię zainteresować

Meta Tagi