Zastosowanie interferometrii niskokoherentnej do jednoczesnego pomiaru grubości i współczynnika załamania struktur warstwowych - Publikacja - MOST Wiedzy

Wyszukiwarka

Zastosowanie interferometrii niskokoherentnej do jednoczesnego pomiaru grubości i współczynnika załamania struktur warstwowych

Abstrakt

W pracy przedstawiono techniki oparte na interferometrii niskokoherentnej jednoczesnego pomiaru współczynnika załamania i grubości struktur warstwowych. Zaproponowano dwie metody: pierwsza oparta jest na pomiarze położenia górnej powierzchni granicznej warstwy i jej grubości optycznej (położenie dolnej powierzchni granicznej powinno być znane wcześniej); druga oparta jest na wykorzystaniu dynamicznego ogniskowania wiązki laserowej. Przeprowadzone testy pokazały, że możliwy jest jednoczesny pomiar grubości geometrycznej warstwy z dokładnością 1 μm i współczynnika załamania z dokładnością lepszą niż 0,01.

Pełna treść

pełna treść publikacji nie jest dostępna w portalu

Informacje szczegółowe

Kategoria:
Publikacja w czasopiśmie
Typ:
artykuły w czasopismach recenzowanych i innych wydawnictwach ciągłych
Opublikowano w:
Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania nr R. 51, strony 136 - 139,
ISSN: 0033-2089
Język:
polski
Rok wydania:
2010
Opis bibliograficzny:
Pluciński J., Strąkowski M., Kosmowski B.: Zastosowanie interferometrii niskokoherentnej do jednoczesnego pomiaru grubości i współczynnika załamania struktur warstwowych// Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania. -Vol. R. 51., nr. Nr 6 (2010), s.136-139
Weryfikacja:
Politechnika Gdańska

wyświetlono 12 razy

Publikacje, które mogą cię zainteresować

Meta Tagi