Wyszukiwarka
Zastosowanie interferometrii niskokoherentnej do jednoczesnego pomiaru grubości i współczynnika załamania struktur warstwowych
Abstrakt
W pracy przedstawiono techniki oparte na interferometrii niskokoherentnej jednoczesnego pomiaru współczynnika załamania i grubości struktur warstwowych. Zaproponowano dwie metody: pierwsza oparta jest na pomiarze położenia górnej powierzchni granicznej warstwy i jej grubości optycznej (położenie dolnej powierzchni granicznej powinno być znane wcześniej); druga oparta jest na wykorzystaniu dynamicznego ogniskowania wiązki laserowej. Przeprowadzone testy pokazały, że możliwy jest jednoczesny pomiar grubości geometrycznej warstwy z dokładnością 1 μm i współczynnika załamania z dokładnością lepszą niż 0,01.
Autorzy (3)
Cytuj jako
Pełna treść
pełna treść publikacji nie jest dostępna w portalu
Słowa kluczowe
Informacje szczegółowe
- Kategoria:
- Publikacja w czasopiśmie
- Typ:
- artykuły w czasopismach recenzowanych i innych wydawnictwach ciągłych
- Opublikowano w:
-
Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
nr R. 51,
strony 136 - 139,
ISSN: 0033-2089 - Język:
- polski
- Rok wydania:
- 2010
- Opis bibliograficzny:
- Pluciński J., Strąkowski M., Kosmowski B.: Zastosowanie interferometrii niskokoherentnej do jednoczesnego pomiaru grubości i współczynnika załamania struktur warstwowych// Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania. -Vol. R. 51., nr. Nr 6 (2010), s.136-139
- Weryfikacja:
- Politechnika Gdańska
wyświetlono 85 razy