Wyniki wyszukiwania dla: SPEKTROMETRIA MASOWA
Znaleźliśmy mało wyników, wypróbuj alternatywnej metody wyszukiwania.
Filtry
wszystkich: 2
wybranych: 1
Filtry wybranego katalogu
Wyniki wyszukiwania dla: SPEKTROMETRIA MASOWA
-
Reactive deposition of TiNx layers in a DC-magnetron discharge
PublikacjaTiNx layers have been deposited in 'balanced mode' and 'unbalanced mode' of a reactive DC-magnetron plasma (carrier gas argon, reactive gas nitrogen) under different conditions. Discharge power and reactive gas flow have been varied. The layers have been examined by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), X-ray reflectometry (XR), and spectroscopic ellipsometry (SE). The results of the layer analyses were combined with plasma investigations...