Search
Abstract
W artykule opisano podstawowe źródła zakłóceń występujących w pomiarach struktur elementów metodami ostrzowymi oraz podstawowe sposoby zmniejszania ich wpływu na wyniki pomiarów.
Authors (2)
Cite as
Full text
full text is not available in portal
Keywords
Details
- Category:
- Articles
- Type:
- artykuły w czasopismach recenzowanych i innych wydawnictwach ciągłych
- Published in:
-
Elektronizacja: podzespoły i zastosowania elektroniki
pages 12 - 13,
ISSN: 0138-0826 - Language:
- Polish
- Publication year:
- 2003
- Bibliographic description:
- Szewczyk A., Spiralski L.: Zakłócenia w pomiarach ostrzowych struktur półprzewodnikowych// Elektronizacja: podzespoły i zastosowania elektroniki. -., nr. 2 (2003), s.12-13
- Verified by:
- Gdańsk University of Technology
seen 103 times