Zakłócenia w pomiarach ostrzowych struktur półprzewodnikowych

Arkadiusz Szewczyk; Ludwik Spiralski

Zakłócenia w pomiarach ostrzowych struktur półprzewodnikowych

Abstract

W artykule opisano podstawowe źródła zakłóceń występujących w pomiarach struktur elementów metodami ostrzowymi oraz podstawowe sposoby zmniejszania ich wpływu na wyniki pomiarów.

Authors (2)

Cite as

Full text

full text is not available in portal

Keywords

Details

Category:: Articles
Type:: artykuły w czasopismach recenzowanych i innych wydawnictwach ciągłych
Published in:: Elektronizacja: podzespoły i zastosowania elektroniki pages 12 - 13,
ISSN: 0138-0826
Language:: Polish
Publication year:: 2003
Bibliographic description:: Szewczyk A., Spiralski L.: Zakłócenia w pomiarach ostrzowych struktur półprzewodnikowych// Elektronizacja: podzespoły i zastosowania elektroniki. -., nr. 2 (2003), s.12-13
Verified by:: Gdańsk University of Technology