Zastosowanie nanosekundowej mikroobróbki laserowej do wykonywania metalowych elementów urządzeń MEMS

Mateusz Tański; Robert Barbucha; Michał Janke; Marek Kocik; Katarzyna Garasz; Jerzy Mizeraczyk

Zastosowanie nanosekundowej mikroobróbki laserowej do wykonywania metalowych elementów urządzeń MEMS

Abstract

W niniejszym artykule omówiono zastosowanie mikroobróbki laserowej impulsami nanosekundowymi do wykonywania metalowych elementów urządzeń MEMS (microelectromechanical systems). Omówiono ogólnie nanosekundową mikroobróbkę laserową materiałów metalowych oraz przedstawiono przykłady elementów urządzeń MEMS wykonanych tą techniką. Przedstawiono także problem degradacji obrabianego materiału podczas nanosekundowej mikroobróbki laserowej. Rozwiązaniem tego problemu może być zastosowanie do mikroobróbki laserowych impulsów femtosekundowych.

Authors (6)

Mateusz Tański
- Instyrtut Maszyn Przepływowych PAN Ośrodek Techniki Plazmowej i Laserowej
Robert Barbucha
- Instyrtut Maszyn Przepływowych PAN Ośrodek Techniki Plazmowej i Laserowej
Michał Janke
- Instyrtut Maszyn Przepływowych PAN Ośrodek Techniki Plazmowej i Laserowej
Marek Kocik
- Instyrtut Maszyn Przepływowych PAN Ośrodek Techniki Plazmowej i Laserowej
Katarzyna Garasz
- Instyrtut Maszyn Przepływowych PAN Ośrodek Techniki Plazmowej i Laserowej
Jerzy Mizeraczyk
- Instytut Maszyn Przepływowych PAN; Akademia Morska w Gdyni Ośrodek Techniki Plazmowej i Laserowej; Wydział Elektryczny

Cite as

Full text

full text is not available in portal

Keywords

Details

Category:: Conference activity
Type:: publikacja w wydawnictwie zbiorowym recenzowanym (także w materiałach konferencyjnych)
Title of issue:: Materiały konferencji, IX Krajowa Konferencja Elektroniki, Darłówko Wschodnie strony 817 - 822
Language:: Polish
Publication year:: 2010
Bibliographic description:: Tański M., Barbucha R., Janke M., Kocik M., Garasz K., Mizeraczyk J.: Zastosowanie nanosekundowej mikroobróbki laserowej do wykonywania metalowych elementów urządzeń MEMS// Materiały konferencji, IX Krajowa Konferencja Elektroniki, Darłówko Wschodnie/ : , 2010, s.817-822
Verified by:: Gdańsk University of Technology