Search results for: CHARAKTERYSTYKA BOCZNOŚCIANÓW

• Porównanie różnych metod pomiarów wysokości barier potencjału w strukturach MOS.

  Publication

  • K. Piskorski
  • A. Kudła
  • H. M. Przewłocki

  - Year 2004

  W referacie omówiono sposoby eliminacji problemów upływności bramki przy pomiarach charakterystyk C(V) kondnsatorów z ultra-cienkim tlenkiem bramki. Przedstawiono sposoby wykorzystania trójelementowego schematu zastępczego kondensatora MOS i przykład analizy pojemności, konduktancji tlenku i rezystancji szeregowej, zmierzonych przy pomocy miernika impedancji Agilent 4294A.