Search results for: MODULACJA CHROMATYCZNA

• Pomiary grubości cienkich warstw metodą modulacji chromatycznej.

  Publication

  • R. Bogdanowicz

  - Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania - Year 2004

  Tematem artykułu jest pomiar grubości struktur cienkowarstwowych szerokostosowanych w optoelektronice, transparentnych warstw dielektrycznych. Grubość jest najistotniejszym parametrem warstwy i determinuje jej właściwościoptyczne. Metoda pomiaru grubości cienkich warstw powinna być bezkontaktowa, nieniszcząca, niekosztowna oraz odporna na zakłócenia

• Chromatic monitoring technique for thickness measurementof thin transparent films.IV Workshopon Atomic and Molecular Physics.

  Publication

  • R. Bogdanowicz

  - Proceedings of SPIE - Year 2003

  W pracy opisano nową technikę monitorowania grubości cienkich warstw podczas procesu ich syntezy. Jest to optyczna metoda oparta na zdegenerowanej analizie widmowej tzw. modulacji chromatycznej. Umożliwia ona precyzyjny ciągły pomiar zmian grubości wzrastających warstw stosowanych w optyce.