Pomiary grubości cienkich warstw metodą modulacji chromatycznej.

Robert Bogdanowicz

Pomiary grubości cienkich warstw metodą modulacji chromatycznej.

Abstract

Tematem artykułu jest pomiar grubości struktur cienkowarstwowych szerokostosowanych w optoelektronice, transparentnych warstw dielektrycznych. Grubość jest najistotniejszym parametrem warstwy i determinuje jej właściwościoptyczne. Metoda pomiaru grubości cienkich warstw powinna być bezkontaktowa, nieniszcząca, niekosztowna oraz odporna na zakłócenia

Author (1)

Robert Bogdanowicz dr hab. inż.

Cite as

Full text

full text is not available in portal

Keywords

Details

Category:: Articles
Type:: artykuły w czasopismach recenzowanych i innych wydawnictwach ciągłych
Published in:: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania no. 45, pages 22 - 24,
ISSN: 0033-2089
Language:: Polish
Publication year:: 2004
Bibliographic description:: Bogdanowicz R.: Pomiary grubości cienkich warstw metodą modulacji chromatycznej.// Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania. -Vol. 45., nr. 6 (2004), s.22-24
Verified by:: Gdańsk University of Technology