Pomiary grubości cienkich warstw metodą modulacji chromatycznej. - Publikacja - MOST Wiedzy

Wyszukiwarka

Pomiary grubości cienkich warstw metodą modulacji chromatycznej.

Abstrakt

Tematem artykułu jest pomiar grubości struktur cienkowarstwowych szerokostosowanych w optoelektronice, transparentnych warstw dielektrycznych. Grubość jest najistotniejszym parametrem warstwy i determinuje jej właściwościoptyczne. Metoda pomiaru grubości cienkich warstw powinna być bezkontaktowa, nieniszcząca, niekosztowna oraz odporna na zakłócenia

Cytuj jako

Pełna treść

pełna treść publikacji nie jest dostępna w portalu

Słowa kluczowe

Informacje szczegółowe

Kategoria:
Publikacja w czasopiśmie
Typ:
artykuły w czasopismach recenzowanych i innych wydawnictwach ciągłych
Opublikowano w:
Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania nr 45, strony 22 - 24,
ISSN: 0033-2089
Język:
polski
Rok wydania:
2004
Opis bibliograficzny:
Bogdanowicz R.: Pomiary grubości cienkich warstw metodą modulacji chromatycznej.// Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania. -Vol. 45., nr. 6 (2004), s.22-24
Weryfikacja:
Politechnika Gdańska

wyświetlono 77 razy

Publikacje, które mogą cię zainteresować

Meta Tagi