Badanie procesów odpowiedzialnych za powstawanie nanostruktur w metodzie FEBID (focused electron beam induced deposition).
Focused Electron beam induced deposition (skrót: FEBID) jest bezpośrednią metodą wykorzystywaną w nauce i przemyśle do tworzenia nanostruktur przy użyciu skupionych wysokoenergetycznych wiązek elektronów. Metoda ta pozwala na osadzanie cienkich warstw metalicznych lub o własnościach izolujących, o dowolnie zdefiniowanych kształtach. Posiada ona jednak ograniczenia głównie w rozdzielczości przestrzennej oraz efektywności nanoszenia warstw. Podczas tworzenia warstw przy użyciu metaloorganicznych prekursorów, powstałe osady mają zawartość metalu zaledwie od 10 do 75% w stosunku do ich pierwotnej zawartości w prekursorach [1]. Głównym powodem niskiej efektywności jest niekompletny rozkład chemiczny prekursora. Może to również znacząco obniżyć czystość warstwy osadzonej. Niekompletne oddzielenie ligandu od prekursora może wynikać z interakcji między niskoenergetycznymi elektronami wtórnymi, które odgrywają kluczową rolę w FEBID. Bezpośrednie badanie roli oraz efektów wywoływanych przez elektrony wtórne podczas procesu osadzania w FEBID nie jest możliwe, należy więc zastosować metody pośrednie. Jedną z nich są eksperymenty rozproszeniowe, a mianowicie badanie pojedynczych zderzeń niskoenergetycznych elektronów z izolowanymi cząsteczkami gazu. W FEBID elektrony wtórne generowane są w zderzeniach wiązki pierwotnej z substratem. Podczas ich interakcji z cząsteczkami prekursora zachodzą procesy takie jak dysocjacyjny wychwyt elektronu, jonizacja dysocjatywna, dysocjacja neutralna i dipolarna. Wielkością charakteryzującą prawdopodobieństwo zajścia wszystkich zjawisk zachodzących podczas zderzeń jest całkowity przekrój czynny. W ramach projektu zostaną przeprowadzone badania eksperymentalne oraz teoretyczne wymienionych wielkości oraz innych fizycznych i chemicznych właściwości prekursorów oraz grup funkcyjnych ważnych dla metody FEBID. W szczególności planowane jest zmierzenie całkowitych przekrojów czynnych na rozproszenie niskoenergetycznych elektronów dla wybranych prekórsorów w szerokim zakresie energii. Ponad to planowane jest eksperymentalne badanie stanów rezonansowych prowadzących do dysocjacyjnego wychwytu elektronów. Otrzymane dane eksperymentalne oraz obliczeniowe pozwolą na zoptymalizowanie projektowania nowych prekursorów dla metody FEBID.
Details
- Financial Program Name:
- DIAMOND GRANT
- Organization:
- Ministerstwo Nauki i Szkolnictwa Wyższego (MNiSW)
- Agreement:
- 0189/DIA/2016/45 z dnia 2016-11-21
- Realisation period:
- 2016-11-21 - 2019-11-20
- Project manager:
- Sylwia Stefanowska-Tur
- Realised in:
- Faculty of Applied Physics and Mathematics
- Request type:
- National Research Programmes
- Domestic:
- Domestic project
- Verified by:
- Gdańsk University of Technology
Papers associated with that project
Filters
total: 1
Catalog Projects
Year 2019
-
Cross sections for electron collision with pyridine [C5H5N] molecule
PublicationThe absolute grand -total cross section (TCS) for electron scattering from pyridine, C5H5N, molecules has been measured at impact energies from 0.6 to 300 eV in the linear electron-transmission experiment. The obtained TCS energy dependence appears to be typical for targets of high electric-dipole moment; the cross section generally decreases with rising energy, except for the 3–20 eV range, where a broad enhancement peaked near...
seen 815 times