Search
Abstract
Przedstawiono zagadnienia monitorowania in-situ prózniowego procesu wzrostu cienkich warstw węglowych, a w szczególności diamentowych i diamentopodobnych DLC. Zastosowanie pomiarów ramanowskich umożliwia zbadanie struktury warstwy na poziomie molekularnych (zawartości faz węglowych sp2 i sp3, a także defektów wodorowych). Użycie spektroskopii in-situ podczas procesu syntezy pozwala monotorować poprawność przebiegu procesu i opracować wytyczne do jego optymalizacji. W artykule przedstawiono konfiguracje układów optycznych, problemy doboru długości fali lasera oraz rezultaty prac eksperymentalnych.
Authors (4)
Cite as
Full text
full text is not available in portal
Keywords
Details
- Category:
- Articles
- Type:
- artykuły w czasopismach recenzowanych i innych wydawnictwach ciągłych
- Published in:
-
Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
pages 113 - 116,
ISSN: 0033-2089 - Language:
- Polish
- Publication year:
- 2010
- Bibliographic description:
- Gnyba M., Kozanecki M., Wroczyński P., Bogdanowicz R.: Monitoring ramanowski wzrostu cienkich warstw węglowych-studium// Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania. -., nr. Nr 9 (2010), s.113-116
- Verified by:
- Gdańsk University of Technology
seen 99 times
Recommended for you
System optoelektroniczny do kontroli procesów μPA CVD
- R. Bogdanowicz,
- M. Gnyba,
- P. Wroczyński
- + 1 authors
2008
Monitoring ramanowski wzrostu cienkich warstw węglowych-studium
- M. Gnyba,
- M. Kozanecki,
- P. Wroczyński
- + 1 authors
2010