W pracy przedstawiono wyniki spektroskopowych badań plazmy wyładowania mikrofalowego (915 MHz) w azocie pod ciśnieniem atmosferycznym. Wyładowanie generowano w mikrofalowym aplikatorze plazmy typu rezonator wnękowy dla natężenia przepływu azotu QN2 = 100 l/min. Absor-bowaną moc mikrofal PA zmieniano w zakresie od 400 do 1200 W. Zmierzone wybrane fragmenty widma porównywane były z widmami uzyskanymi przy użyciu programu symulacyjnego...

Zrealizowana praca jest jednym z głównych zadań wieloletniego projektu badawczego z zakresu syntezy warstw diamentopodobnych. Celem bezpośrednim pracy było określenie rozkładu wzbudzenia plazmy w komorze technologicznej stanowiska PA ECR CVD. Głównym celem było opracowanie optoelektronicznego systemu pomiarowego, na którego potrzeby zastosowano przestrzennie selektywną optyczną spektroskopię emisyjną dedykowaną do badania procesu...

Development of the optoelectronic system for monitoring of diamond/DLC (Diamond-Like-Carbon) thin films growth during mu PA ECR CVD (Microwave Plasma Assisted Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapour Deposition) process is described. The multi-point Optical Emission Spectroscopy (OES) and Raman spectroscopy were employed as non-invasive optoelectronic tools. Dissociation of H-2 molecules, excitation and ionization of hydrogen...