Marcin Leśniewski - Publications - Bridge of Knowledge

Marcin Leśniewski

Employment

No data

Keywords Help

Publications

results on page:
year:
- selected sort by year newest first
- sort by year oldest first
title:
- selected sort by title A-Z
- sort by title Z-A
citation:
- sort by citation descending
- sort by citation ascending

Filters

total: 1

Year 2008

System optoelektroniczny do kontroli procesów μPA CVD
Publication
- Measurement Automation Monitoring - Year 2008
Przedstawiono prototyp optoelektronicznego systemu do monitorowania in-situ procesu CVD, wspomaganych plazmą mikrofalową. System składa się z układu optycznej spektroskopii emisyjnej OES oraz specjalizowanego spektroskopu ramanowskiego RS. Umożliwia on równoczesne monitorowanie składu plazmy oraz określanie dynamiki wzrostu i zawartości defektów warstwy. Przedstawiono wyniki badań przebiegu procesu wytwarzania warstw diamentopodobnych...

Full text available to download

seen 454 times