Search results for: PŁYTKI PÓŁPRZEWODNIKOWE
Found little results, maybe try searching with alternative method.
Search results for: PŁYTKI PÓŁPRZEWODNIKOWE
-
Wear of the tool in double-disc lapping of silicon wafers
PublicationPrzedstawiono założenia modelowe do określania zużycia narzędzia w docieraniu krzemowych płytek półprzewodnikowych. Obliczenia zostały wykonane dla różnych parametrów kinematycznych, wpływających na zużycie narzędzia w określonych jego obszarach.