Focused Electron beam induced deposition (skrót: FEBID) jest bezpośrednią metodą wykorzystywaną w nauce i przemyśle do tworzenia nanostruktur przy użyciu skupionych wysokoenergetycznych wiązek elektronów. Metoda ta pozwala na osadzanie cienkich warstw metalicznych lub o własnościach izolujących, o dowolnie zdefiniowanych kształtach. Posiada ona jednak ograniczenia głównie w rozdzielczości przestrzennej oraz efektywności nanoszenia warstw. Podczas tworzenia warstw przy użyciu metaloorganicznych prekursorów, powstałe osady mają zawartość metalu zaledwie od 10 do 75% w stosunku do ich pierwotnej zawartości w prekursorach [1]. Głównym powodem niskiej efektywności jest niekompletny rozkład chemiczny prekursora. Może to również znacząco obniżyć czystość warstwy osadzonej. Niekompletne oddzielenie ligandu od prekursora może wynikać z interakcji między niskoenergetycznymi elektronami wtórnymi, które odgrywają kluczową rolę w FEBID. Bezpośrednie badanie roli oraz efektów wywoływanych przez elektrony wtórne podczas procesu osadzania w FEBID nie jest możliwe, należy więc zastosować metody pośrednie. Jedną z nich są eksperymenty rozproszeniowe, a mianowicie badanie pojedynczych zderzeń niskoenergetycznych elektronów z izolowanymi cząsteczkami gazu. W FEBID elektrony wtórne generowane są w zderzeniach wiązki pierwotnej z substratem. Podczas ich interakcji z cząsteczkami prekursora zachodzą procesy takie jak dysocjacyjny wychwyt elektronu, jonizacja dysocjatywna, dysocjacja neutralna i dipolarna. Wielkością charakteryzującą prawdopodobieństwo zajścia wszystkich zjawisk zachodzących podczas zderzeń jest całkowity przekrój czynny. W ramach projektu zostaną przeprowadzone badania eksperymentalne oraz teoretyczne wymienionych wielkości oraz innych fizycznych i chemicznych właściwości prekursorów oraz grup funkcyjnych ważnych dla metody FEBID. W szczególności planowane jest zmierzenie całkowitych przekrojów czynnych na rozproszenie niskoenergetycznych elektronów dla wybranych prekórsorów w szerokim zakresie energii. Ponad to planowane jest eksperymentalne badanie stanów rezonansowych prowadzących do dysocjacyjnego wychwytu elektronów. Otrzymane dane eksperymentalne oraz obliczeniowe pozwolą na zoptymalizowanie projektowania nowych prekursorów dla metody FEBID.