Abstrakt
n this article, the concept of a prototype femtosecond laser micromachining system and a femtosecond solid-state Yb:KYW laser is presented. Ultrashort laser pulses have many advantages over the long pulses in laser micromachining, due to their unique ability to interact with different materials without transferring heat to them. This allows very precise and pure laser-processing, clean cuts and sharp edges. A femtosecond laser micromachining device presented in this article is equipped with high-precision galvo scanner, quality optical elements and automatic process supporting tools, resulting in the maximum use of the femtosecond laser potential for precise micromachining and MEMS fabrication.
Cytowania
-
0
CrossRef
-
0
Web of Science
-
0
Scopus
Autorzy (7)
Cytuj jako
Pełna treść
pełna treść publikacji nie jest dostępna w portalu
Słowa kluczowe
Informacje szczegółowe
- Kategoria:
- Aktywność konferencyjna
- Typ:
- publikacja w wydawnictwie zbiorowym recenzowanym (także w materiałach konferencyjnych)
- Tytuł wydania:
- Electron Technology Conference 2013 strony 1 - 6
- Język:
- angielski
- Rok wydania:
- 2013
- Opis bibliograficzny:
- Garasz K., Kocik M., Barbucha R., Tański M., Mizeraczyk J., Nejbauer M., Radzewicz C.: A prototype femtosecond laser system for MEMS fabrication// Electron Technology Conference 2013/ : , 2013, s.1-6
- DOI:
- Cyfrowy identyfikator dokumentu elektronicznego (otwiera się w nowej karcie) 10.1117/12.2030552
- Weryfikacja:
- Politechnika Gdańska
wyświetlono 95 razy
Publikacje, które mogą cię zainteresować
Photophysics of Soret-Excited Tin(IV) Porphyrins in Solution
- K. P. Ghiggino,
- N. K. Giri,
- J. Hanrieder
- + 6 autorów
Solid state versus fiber picosecond infrared lasers applied to two-photon vision tests
- M. Marzejon,
- K. Komar,
- Ł. Kornaszewski
- + 1 autorów
Locally sculptured modification of the electrochemical response of conductive poly(lactic acid) 3D prints by femtosecond laser processing
- M. Cieślik,
- M. Sawczak,
- R. Jendrzejewski
- + 3 autorów