Dynamic Study of Dual High-Power Impulse Magnetron Sputtering Discharge by Optical Emission Imaging

pełna treść publikacji nie jest dostępna w portalu

Kategoria:: Publikacja w czasopiśmie
Typ:: Publikacja w czasopiśmie
Opublikowano w:: IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE nr 39, wydanie 11, strony 2454 - 2455,
ISSN: 0093-3813
ISSN:: 0093-3813
Rok wydania:: 2011
DOI:: Cyfrowy identyfikator dokumentu elektronicznego (otwiera się w nowej karcie) 10.1109/tps.2011.2155674
Weryfikacja:: Brak weryfikacji

wyświetlono 61 razy

Wyszukiwarka