Wyszukiwarka
Abstrakt
We probe the electron attachment in hexafluoropropylene oxide (HFPO), C3F6O, a gas widely used in plasma technologies. We determine the absolute electron attachment cross section using two completely different experimental approaches: (i) a crossed-beam experiment at single collision conditions (local pressures of 5 × 10−4 mbar) and (ii) a pulsed Townsend experiment at pressures of 20–100 mbar. In the latter method, the cross sections are unfolded from the electron attach- ment rate coefficients. The cross sections derived independently by the two methods are in very good agreement. We additionally discuss the dissociative electron attachment fragmentation patterns and their role in the radical production in industrial HFPO plasmas.
Cytowania
-
1 5
CrossRef
-
0
Web of Science
-
1 4
Scopus
Autorzy (5)
-
Alise Chachereau
-
Jaroslav Kočišek dr
-
Christian Franck Prof.
-
Juraj Fedor dr
Cytuj jako
Pełna treść
- Wersja publikacji
- Accepted albo Published Version
- DOI:
- Cyfrowy identyfikator dokumentu elektronicznego (otwiera się w nowej karcie) 10.1063/1.5051724
- Licencja
- Copyright (2018 AIP Publishing)
Słowa kluczowe
Informacje szczegółowe
- Kategoria:
- Publikacja w czasopiśmie
- Typ:
- artykuł w czasopiśmie wyróżnionym w JCR
- Opublikowano w:
-
JOURNAL OF CHEMICAL PHYSICS
nr 149,
wydanie 20,
strony 1 - 7,
ISSN: 0021-9606 - Język:
- angielski
- Rok wydania:
- 2018
- Opis bibliograficzny:
- Zawadzki M., Chachereau A., Kočišek J., Franck C., Fedor J.: Electron attachment to hexafluoropropylene oxide (HFPO)// JOURNAL OF CHEMICAL PHYSICS. -Vol. 149, iss. 20 (2018), s.1-7
- DOI:
- Cyfrowy identyfikator dokumentu elektronicznego (otwiera się w nowej karcie) 10.1063/1.5051724
- Weryfikacja:
- Politechnika Gdańska
wyświetlono 112 razy
Publikacje, które mogą cię zainteresować
Electron collisions with cyanoacetylene HC3N : Vibrational excitation and dissociative electron attachment
- M. Ranković,
- P. Nag,
- M. Zawadzki
- + 5 autorów
Dissociative electron attachment to benzoic acid (C7H6O2)
- M. Zawadzki,
- P. Wierzbicka,
- J. Kopyra
Electron interactions with Bis(pentamethylcyclopentadienyl) titanium(IV) dichloride and difluoride
- J. Langer,
- M. Zawadzki,
- M. Fárník
- + 3 autorów