Elipsometric data analysis used in on-line metal passivation monitoring - Publikacja - MOST Wiedzy

Wyszukiwarka

Elipsometric data analysis used in on-line metal passivation monitoring

Abstrakt

Wykorzystano technikę elipsometrii monochromatycznej do opisu on-line warstw tlenkowych, elektroosadzanych na miedzi. Elipsometria jest w stanie dostarczyć informacji odnośnie grubości i współczynników załamania światła układów warstwowych, jednakże wymagane w tym celu jest zbudowanie matematycznego modelu odwzorowującego stałe optyczne układu badanego. W powyższej pracy przedyskutowane zostały różne metody dopasowywania modelu do warunków eksperymentalnych, a także możliwości wykorzystania przybliżenia EMA do opisu modelu na granicy dwóch faz. Odpowiednie dopasowanie modelu umożliwiła optymalizacja Levenberga-Marquardta, połączona z wielowymiarową funkcją średniokwadratową MSE.

Cytuj jako

Pełna treść

pełna treść publikacji nie jest dostępna w portalu

Słowa kluczowe

Informacje szczegółowe

Kategoria:
Publikacja w czasopiśmie
Typ:
artykuł w czasopiśmie z listy filadelfijskiej
Opublikowano w:
The European Physical Journal-Special Topics nr 144, strony 215 - 220,
ISSN: 1951-6355
Język:
angielski
Rok wydania:
2007
Opis bibliograficzny:
Bogdanowicz R., Ryl J.: Elipsometric data analysis used in on-line metal passivation monitoring// The European Physical Journal-Special Topics. -Vol. 144., nr. nr 1 (2007), s.215-220
Weryfikacja:
Politechnika Gdańska

wyświetlono 62 razy

Publikacje, które mogą cię zainteresować

Meta Tagi