Abstrakt
Wykorzystano technikę elipsometrii monochromatycznej do opisu on-line warstw tlenkowych, elektroosadzanych na miedzi. Elipsometria jest w stanie dostarczyć informacji odnośnie grubości i współczynników załamania światła układów warstwowych, jednakże wymagane w tym celu jest zbudowanie matematycznego modelu odwzorowującego stałe optyczne układu badanego. W powyższej pracy przedyskutowane zostały różne metody dopasowywania modelu do warunków eksperymentalnych, a także możliwości wykorzystania przybliżenia EMA do opisu modelu na granicy dwóch faz. Odpowiednie dopasowanie modelu umożliwiła optymalizacja Levenberga-Marquardta, połączona z wielowymiarową funkcją średniokwadratową MSE.
Autorzy (2)
Cytuj jako
Pełna treść
pełna treść publikacji nie jest dostępna w portalu
Słowa kluczowe
Informacje szczegółowe
- Kategoria:
- Publikacja w czasopiśmie
- Typ:
- artykuł w czasopiśmie z listy filadelfijskiej
- Opublikowano w:
-
The European Physical Journal-Special Topics
nr 144,
strony 215 - 220,
ISSN: 1951-6355 - Język:
- angielski
- Rok wydania:
- 2007
- Opis bibliograficzny:
- Bogdanowicz R., Ryl J.: Elipsometric data analysis used in on-line metal passivation monitoring// The European Physical Journal-Special Topics. -Vol. 144., nr. nr 1 (2007), s.215-220
- Weryfikacja:
- Politechnika Gdańska
wyświetlono 102 razy
Publikacje, które mogą cię zainteresować
Korozja w środowisku ropy naftowej. Czynniki i monitorowanie
- T. Olczak,
- K. Darowicki,
- S. Krakowiak
- + 1 autorów