Abstrakt
Plasma-based techniques are widely applied for well-controlled deposition, etching or surface functionalization of a number of materials. It is difficult to imagine fabrication of novel microelectronic and optoelectronic devices without using plasma-enhanced deposition of thin films, their selective etching or functionalization of their surfaces for subsequent selective binding of chemical or biological molecules. Depending on the process parameters, i.e., generator frequency and power, composition of gases , pressure, temperature, and applied substrates, different effects of the process can be obtained. The chapter discusses current trends in application of plasma-based techniques for fabrication of novel optical sensing devices. Fabrication of materials with different structure (from amorphous to crystalline, porous, and multilayers), optical properties (absorption, refractive index ), and surface activity, as well as their processing are reviewed. Application of the plasma methods enhancing sensing properties of various optical fiber sensing structures, namely long-period gratings, intermodal interferometers based on photonic crystal fiber, sensing structures based on lossy mode resonance or stacks of nano-films are given as examples and are discussed.
Cytowania
-
4
CrossRef
-
0
Web of Science
-
6
Scopus
Autorzy (5)
Cytuj jako
Pełna treść
pełna treść publikacji nie jest dostępna w portalu
Słowa kluczowe
Informacje szczegółowe
- Kategoria:
- Publikacja monograficzna
- Typ:
- rozdział, artykuł w książce - dziele zbiorowym /podręczniku w języku o zasięgu międzynarodowym
- Tytuł wydania:
- Fiber Optic Sensors strony 95 - 114
- Język:
- angielski
- Rok wydania:
- 2017
- Opis bibliograficzny:
- Dominik M., Koba M., Bogdanowicz R., Bock W., Śmietana M.: Plasma-Based Deposition and Processing Techniques for Optical Fiber Sensing// Fiber Optic Sensors/ ed. Ignacio R. Matias, Satoshi Ikezawa, Jesus Corres Heildelberg: Springer, 2017, s.95-114
- DOI:
- Cyfrowy identyfikator dokumentu elektronicznego (otwiera się w nowej karcie) 10.1007/978-3-319-42625-9_5
- Weryfikacja:
- Politechnika Gdańska
wyświetlono 129 razy
Publikacje, które mogą cię zainteresować
Nucleation and growth of CVD diamond on fused silica optical fibres with titanium dioxide interlayer
- R. Bogdanowicz,
- M. Śmietana,
- M. Gnyba
- + 5 autorów
Tailoring properties of indium tin oxide thin films for their work in both electrochemical and optical label-free sensing systems
- P. Sezemsky,
- D. Burnat,
- J. Kratochvil
- + 11 autorów