The system based on spatially resolved optical emission spectroscopy dedicated for in situ diagnostics of plasma assisted CVD processes is presented in this paper. Measurement system coupled with chemical vapour deposition chamber by dedicated fiber-optic paths enables investigation of spatial distribution of species densities (Hx, H+, CH, CH+) during chemical vapour deposition process. Experiments were performed for a various...

Zrealizowana praca jest jednym z głównych zadań wieloletniego projektu badawczego z zakresu syntezy warstw diamentopodobnych. Celem bezpośrednim pracy było określenie rozkładu wzbudzenia plazmy w komorze technologicznej stanowiska PA ECR CVD. Głównym celem było opracowanie optoelektronicznego systemu pomiarowego, na którego potrzeby zastosowano przestrzennie selektywną optyczną spektroskopię emisyjną dedykowaną do badania procesu...

Głównym celem naukowym badań było lepsze poznanie mechanizmu tworzenia cienkich warstw fotokatalitycznych w postaci nanorurek TiO2 oraz zrozumienie wpływu ich morfologii oraz struktury na aktywność oraz stabilność w procesie fotodegradacji zanieczyszczeń organicznych zarówno w fazie wodnej jak i gazowej. Szczególną uwagę poświęcono syntezie nowych typów fotokatalizatorów w oparciu o matryce nanorurek TiO2 (nanorurki modyfikowane...

Przedstawiono technologię wytwarzania cienkich warstw ceramicznych tlenków lantanowo-strontowo-żelazowych (LSFO). Zaprezentowano konstrukcję bolometrycznych detektorów podczerwieni wykonanych z opracowanych warstw. Przedstawiono charakterystyki prądowo-napięciowe wybranych detektorów, wyniki pomiaru ich szumów i termicznej stałej czasowej. Przedstawione detektory były w stanie wykryć obiekt o temperaturze 38 stopni Celcjusza znajdujący...