Search
Abstract
W artykule omówiono technologię wytwarzania cienkich warstw wybranych kompozycji ceramik ołowiowo-lantanowo-cyrkonowo-tytanowych, nazywanych ceramikami PLZT. Przedstawiono wyniki badań jakości warstw za pomocą techniki XRD. wyniki pomiaru grubości warstw, ich względnej przenikalności dielektrycznej i współczynnika załamania. Omówiono kierunki dalszych prac.
Authors (2)
Cite as
Full text
full text is not available in portal
Keywords
Details
- Category:
- Conference activity
- Type:
- publikacja w wydawnictwie zbiorowym recenzowanym (także w materiałach konferencyjnych)
- Title of issue:
- 35th International Microelectronics and Packaging IMAPS - IEEE CPMT Poland Conference, September 21-24, 2011 Gdansk-Sobieszewo. - [CD] strony 335 - 338
- Language:
- English
- Publication year:
- 2011
- Bibliographic description:
- Wierzba P., Łoziński A.: Characterization of PLZT Thin Films for Fast Electro-Optical Sampling Circuits// 35th International Microelectronics and Packaging IMAPS - IEEE CPMT Poland Conference, September 21-24, 2011 Gdansk-Sobieszewo. - [CD]/ ed. eds. Piotr Jasiński, Grzegorz Jasiński Gdańsk: Politechnika Gdańska, 2011, s.335-338
- Verified by:
- Gdańsk University of Technology
seen 60 times