Search
Abstract
Wykorzystano technikę elipsometrii monochromatycznej do opisu on-line warstw tlenkowych, elektroosadzanych na miedzi. Elipsometria jest w stanie dostarczyć informacji odnośnie grubości i współczynników załamania światła układów warstwowych, jednakże wymagane w tym celu jest zbudowanie matematycznego modelu odwzorowującego stałe optyczne układu badanego. W powyższej pracy przedyskutowane zostały różne metody dopasowywania modelu do warunków eksperymentalnych, a także możliwości wykorzystania przybliżenia EMA do opisu modelu na granicy dwóch faz. Odpowiednie dopasowanie modelu umożliwiła optymalizacja Levenberga-Marquardta, połączona z wielowymiarową funkcją średniokwadratową MSE.
Authors (2)
Cite as
Full text
full text is not available in portal
Keywords
Details
- Category:
- Articles
- Type:
- artykuł w czasopiśmie z listy filadelfijskiej
- Published in:
-
The European Physical Journal-Special Topics
no. 144,
pages 215 - 220,
ISSN: 1951-6355 - Language:
- English
- Publication year:
- 2007
- Bibliographic description:
- Bogdanowicz R., Ryl J.: Elipsometric data analysis used in on-line metal passivation monitoring// The European Physical Journal-Special Topics. -Vol. 144., nr. nr 1 (2007), s.215-220
- Verified by:
- Gdańsk University of Technology
seen 102 times
Recommended for you
Korozja w środowisku ropy naftowej. Czynniki i monitorowanie
- T. Olczak,
- K. Darowicki,
- S. Krakowiak
- + 1 authors
2022