Zastosowanie interferometrii niskokoherentnej do jednoczesnego pomiaru grubości i współczynnika załamania struktur warstwowych - Publication - Bridge of Knowledge

Search

Zastosowanie interferometrii niskokoherentnej do jednoczesnego pomiaru grubości i współczynnika załamania struktur warstwowych

Abstract

W pracy przedstawiono techniki oparte na interferometrii niskokoherentnej jednoczesnego pomiaru współczynnika załamania i grubości struktur warstwowych. Zaproponowano dwie metody: pierwsza oparta jest na pomiarze położenia górnej powierzchni granicznej warstwy i jej grubości optycznej (położenie dolnej powierzchni granicznej powinno być znane wcześniej); druga oparta jest na wykorzystaniu dynamicznego ogniskowania wiązki laserowej. Przeprowadzone testy pokazały, że możliwy jest jednoczesny pomiar grubości geometrycznej warstwy z dokładnością 1 μm i współczynnika załamania z dokładnością lepszą niż 0,01.

Cite as

Full text

full text is not available in portal

Keywords

Details

Category:
Articles
Type:
artykuły w czasopismach recenzowanych i innych wydawnictwach ciągłych
Published in:
Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania no. R. 51, pages 136 - 139,
ISSN: 0033-2089
Language:
Polish
Publication year:
2010
Bibliographic description:
Pluciński J., Strąkowski M., Kosmowski B.: Zastosowanie interferometrii niskokoherentnej do jednoczesnego pomiaru grubości i współczynnika załamania struktur warstwowych// Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania. -Vol. R. 51., nr. Nr 6 (2010), s.136-139
Verified by:
Gdańsk University of Technology

seen 50 times

Recommended for you

Meta Tags