Integrated circuit structure surface images obtained with contact capacitive imaging technique

Opis

The measurements were done using NTEGRA Prima (NT-MDT) device. CSG 10Pt probe.

Scanning capacitance microscopy (SCM) is a type of scanning probe microscopy in which a probe is placed in contact with or in close proximity to the sample surface and scanned. The SCM characterizes the sample surface on the basis of information obtained from the change in capacity between the surface and the probe. Applications of the SCM technique include the mapping of the doping profile in semiconductor devices and the assessment of local dielectric properties in insulating layers. The presented images refer to the study of the dielectric properties of the protective conformal coating on the surface of an integrated circuit. The file contains 66 images.

Plik z danymi badawczymi

Set10.mdt

8.0 MB, S3 ETag 3ea2fea155ca4c5dcb3fc1d440c46289-1, pobrań: 48

Hash pliku liczony jest ze wzoru
hexmd5(md5(part1)+md5(part2)+...)-{parts_count} gdzie pojedyncza część pliku jest wielkości 512 MB

Przykładowy skrypt do wyliczenia:
https://github.com/antespi/s3md5

pobierz

Informacje szczegółowe o pliku

Licencja:: otwiera się w nowej karcie

CC BY-NC

Użycie niekomercyjne
Oprogramowanie:: Gwyddion

Informacje szczegółowe

Rok publikacji:

2021

Data zatwierdzenia:

2021-04-29

Język danych badawczych:

angielski

Dyscypliny:

nauki chemiczne (Dziedzina nauk ścisłych i przyrodniczych)

DOI:

10.34808/dp3d-wq26

Seria:

Scanning Probe Microscopies data

Weryfikacja:

Politechnika Gdańska

Słowa kluczowe

Cytuj jako

Autorzy

wyświetlono 143 razy

Wyszukiwarka