The surface of a fragment of the structure of an integrated circuit in the semi-contact mode.

Opis

The surface of a fragment of the structure of an integrated circuit. Topographic measurements in the semi-contact mode. NTEGRA Prima (NT-MDT) device. NSG 01 probe.

The quality of production of the elements forming the structure of the integrated circuit is crucial for the further development and miniaturization of modern electronic equipment. Atomic force microscopy can be used as one of the techniques for monitoring the accuracy of microcircuit fabrication. It allows, for example, the detection of factory defects consisting in the shortening of the paths, or the assessment of their width and mutual position, determining the size of the parasitic effects. The data provided clearly indicate a sufficient resolution of the imaging variant used. Visible defects in the structure of the imaged elements result from the fact that they were not obtained from the production line, but by destructive disassembly of the commercial processors. The file contains 12 images.

Plik z danymi badawczymi

Set4.mdt

1.3 MB, S3 ETag b4b4a84e27c26b953ee23b7677920080-1, pobrań: 48

Hash pliku liczony jest ze wzoru
hexmd5(md5(part1)+md5(part2)+...)-{parts_count} gdzie pojedyncza część pliku jest wielkości 512 MB

Przykładowy skrypt do wyliczenia:
https://github.com/antespi/s3md5

pobierz

Informacje szczegółowe o pliku

Licencja:: otwiera się w nowej karcie

CC BY-NC

Użycie niekomercyjne
Oprogramowanie:: Gwyddion

Informacje szczegółowe

Rok publikacji:

2021

Data zatwierdzenia:

2021-04-29

Język danych badawczych:

angielski

Dyscypliny:

nauki chemiczne (Dziedzina nauk ścisłych i przyrodniczych)

DOI:

10.34808/eyx5-5f67

Seria:

Scanning Probe Microscopies data

Weryfikacja:

Politechnika Gdańska

Słowa kluczowe

Cytuj jako

Autorzy

wyświetlono 116 razy

Wyszukiwarka