Abstrakt
W artykule omówiono technologię wytwarzania cienkich warstw wybranych kompozycji ceramik ołowiowo-lantanowo-cyrkonowo-tytanowych, nazywanych ceramikami PLZT. Przedstawiono wyniki badań jakości warstw za pomocą techniki XRD. wyniki pomiaru grubości warstw, ich względnej przenikalności dielektrycznej i współczynnika załamania. Omówiono kierunki dalszych prac.
Autorzy (2)
Cytuj jako
Pełna treść
pełna treść publikacji nie jest dostępna w portalu
Słowa kluczowe
Informacje szczegółowe
- Kategoria:
- Aktywność konferencyjna
- Typ:
- publikacja w wydawnictwie zbiorowym recenzowanym (także w materiałach konferencyjnych)
- Tytuł wydania:
- 35th International Microelectronics and Packaging IMAPS - IEEE CPMT Poland Conference, September 21-24, 2011 Gdansk-Sobieszewo. - [CD] strony 335 - 338
- Język:
- angielski
- Rok wydania:
- 2011
- Opis bibliograficzny:
- Wierzba P., Łoziński A.: Characterization of PLZT Thin Films for Fast Electro-Optical Sampling Circuits// 35th International Microelectronics and Packaging IMAPS - IEEE CPMT Poland Conference, September 21-24, 2011 Gdansk-Sobieszewo. - [CD]/ ed. eds. Piotr Jasiński, Grzegorz Jasiński Gdańsk: Politechnika Gdańska, 2011, s.335-338
- Weryfikacja:
- Politechnika Gdańska
wyświetlono 98 razy