Design and fabrication of nanometer measurement platform for better understanding of silicon mechanical properties

pełna treść publikacji nie jest dostępna w portalu

Kategoria:: Publikacja w czasopiśmie
Typ:: Publikacja w czasopiśmie
Opublikowano w:: JOURNAL OF APPLIED PHYSICS nr 134, wydanie 2,
ISSN: 0021-8979
ISSN:: 0021-8979
Rok wydania:: 2023
DOI:: Cyfrowy identyfikator dokumentu elektronicznego (otwiera się w nowej karcie) 10.1063/5.0152192
Weryfikacja:: Brak weryfikacji

wyświetlono 5 razy

Wyszukiwarka