Plasma diagnostics of low pressure high power impulse magnetron sputtering assisted by electron cyclotron wave resonance plasma

pełna treść publikacji nie jest dostępna w portalu

Kategoria:: Publikacja w czasopiśmie
Typ:: Publikacja w czasopiśmie
Opublikowano w:: JOURNAL OF APPLIED PHYSICS nr 112, wydanie 9,
ISSN: 0021-8979
ISSN:: 0021-8979
Rok wydania:: 2012
DOI:: Cyfrowy identyfikator dokumentu elektronicznego (otwiera się w nowej karcie) 10.1063/1.4764102
Weryfikacja:: Brak weryfikacji

wyświetlono 148 razy

Wyszukiwarka